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电磁式微型发电机
电磁式微型发电机是利用法拉电磁感应原理，通过感应线圈与磁体之间的相对运动，使穿过闭合线圈的磁通量发生变化，从而产生感应电势的能量收集装置。传统的电磁发电威置结构复杂，体积较大。随着科技的发展，高可用，小型化的新型电磁式发电机受到了广泛的研究。MEMS工艺加工的悬梁臂结构的微型电磁式发电机，将永磁体固定于悬梁臂结构的中心平台，当外界振动时，悬梁臂带动永磁体上下振动，导致线圈中的磁通量发生变化，线圈中会因此产生感应电势。
发电机是基于起电效应和静电感应祸合的能量收集装置，能将机械能转换为电能，下一将详细介绍它的原理与研究现状。
目前广泛研究的发电机和微纳自供能系统有以下几种:压电式，电磁式热释电式以及电式。其中压电式发电，电磁式微型发电机,发电机能将机械能转换为电能，而热释电发电机能将温度的变化产生热能转换为电能。
(1)压电发电机
压电发电机是王中林教授小组于2006年提出，它是利用尺寸的纤锌矿压电材料(柱，线，块等)的非对称化结构，将外部环境中施加的机械能转换为电能。

压电发电机的工作过程如下:当垂直于基底生长的材料受到一个外力作用时，线发生形变弯曲，材料的晶体结构中阳离子与阴离子产生了相对应的位移，所以弯曲形变会产生应变电场，这种现象为Zn0线的压电效应。被拉伸的外表面会产生正电势，相反的，被压缩的内表面会产生负电势，所以Zn0线的表面会产生电势分布，而线的底端由于接地呈现电中。

的半导体质，使得它与金属尖部接触时会形成肖特基势垒。对于n型的半导体材料，当金属电接触到负电势区域时，电子从Zn0线表面流向电，而当电接触正电势区域时，则没有电生。对于P型半导体材料，会产生相反的现象。近几年来，压电发电机的能不断改善，它的输出已经能够直接驱动LED及一些小型的电子设备。

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